匠心打造的新一代设计，是一款独具科技感的一机多用型光谱仪，采用先进的EFP算法和微光聚集技术的同时搭配新一代的多道及时序排列，专精型既保留了专用测厚仪检测微小样品和凹槽的性能，又可满足微区ROHS检测及全元素分析，每一个功能都是最专业的。

性能优势

● 微聚焦X射线装置

搭载微聚焦加强型X射线发生器和先进的光路转换聚焦系统，最小测量面积达0.03mm² 

● 自主研发的EFP算法

Li(3)-U(92)元素的涂镀层，多层多元素，甚至有同种元素在不同层也可精确测量  

● 变焦装置及位置补偿算法

可对各种异形凹槽件进行无损检测，凹槽深度范围0-30mm 

● 一机多用、精检精测

各装置高度集成，不分散、不弱化光强，能够完全兼顾ROHS、全元素分析、各种大小异形涂镀层样品的快速精准检测